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一种溅射靶材基座

2021-10-22 10:25

本实用新型公开了一种溅射靶材基座，包括底座，还包括可滑动地支撑在底座上的滑动组件以及沿着所述滑动组件的滑动方向支撑在滑动组件的上表面上的第一安装座和第二安装座，所述第一安装座和第二安装座用以对镀膜时需要的靶材进行固定，通过所述滑动组件能够使第一安装座上的靶材和第二安装座上的靶材交替地从镀膜工位移入和移出。该靶材基座具有两个安装座，在使用其中一个靶材基座上的靶材进行镀膜室，能够对另一个安装座上的靶材进行更换，提高了生产效率。