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一种具有溅射靶材预热功能的靶材基座

2021-10-21 16:24

本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，具体地，涉及一种具有溅射靶材预热功能的靶材基座，包括有矩形的底座和加热装置，所述的底座的一端设置有矩形的卡槽，所述卡槽的一端设置有用于固定靶材的固定机构，加热装置包括有伸缩机构和加热机构，底座远离卡槽的一端设置有一根支撑柱，伸缩机构设置在支撑柱上，伸缩机构的输出端上设置有一块安装板，安装板的底部设置有旋转电机，电机的输出端延伸至安装板的另一侧，旋转电机的输出端连接有固定杆，固定杆的末端上固定连接有固定板，加热机构可拆卸安装在固定板上，所述加热机构为电阻丝发热板，本装置可以对靶材进行预热，防止靶材出现靶材开裂的情况。